專利/新品種名稱	半導體半成品結構製造設備、方法與其結構
專利字號	M631781
專利類別	發明專利
國別	台灣
作者順序	第二作者
啟用日期	2022/09/11
發照單位	經濟部智慧財產局
年度	2022
著作人	吳俊逸, 譚安宏
語言	中文