全部作者 | 谭安宏 |
---|---|
作者顺序 | 第四作者 |
论文名称 | Analysis of Structure Fabrication on Near Field Photolithography with Experimental Verification |
刊物名称 | Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers |
出版日期 | 2011-10-01 |
全部作者 | 谭安宏 |
---|---|
作者顺序 | 第四作者 |
论文名称 | Analysis of Structure Fabrication on Near Field Photolithography with Experimental Verification |
刊物名称 | Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers |
出版日期 | 2011-10-01 |